发明专利已授权

一种耦合刚度扰动式MEMS模态局部化加速度计

📄 申请号：CN202511272347.6 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2025-09-08

公开号

CN121068948B

公开日

2026-05-01

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01P15_08

IPC 分类号

G01P15_08

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

惯性导航, 消费电子, 汽车电子, 工业振动监测, 地震监测

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摘要

本发明提供了一种耦合刚度扰动式MEMS模态局部化加速度计，核心敏感单元采用双音叉谐振器并行排列构型，通过等效支撑刚度参数的差异设计构建失调弱耦合谐振系统。外音叉谐振器与敏感质量块直接相连接，内音叉谐振器通过基底锚点实现全约束固定，二者通过静电耦合平行板组成双音叉静电弱耦合谐振结构，从而实现谐振单元之间的能量传递。本发明在机理上区别于传统的刚度或质量扰动式模态局部化传感器，当加速度计受到外界加速度的作用时，其惯性微位移被转换为弱耦合谐振系统的耦合刚度变化，通过外接电路实现对于弱耦合谐振系统的谐振单元振幅比的检测，进而实现对于耦合刚度扰动的检测，最终实现对被测量加速度的高灵敏度检测。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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