发明专利 已授权

用于微流控芯片的三电极微流体介电测量系统及其制备方法

📄 申请号:CN202311728875.9 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2023-12-15
公开号
CN117723907B
公开日
2025-02-07
申请人
西南大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

生物医学检测, 临床诊断, 化学分析, 环境监测, 细胞分析

摘要

本发明涉及一种用于微流控芯片的三电极微流体介电测量系统其制备方法,属于电气技术领域。该系统包括微流道层、上导电玻璃和下导电玻璃;所述上导电玻璃和下导电玻璃分别位于微流道层两侧,上导电玻璃和下导电玻璃的导电面均朝向微流道层进行键合;所述上导电玻璃的导电面刻蚀制作三电极中的高压电极;所述下导电玻璃的导电面刻蚀三电极中的低压电极和屏蔽电极;本发明实现准确测量微流控芯片中微流体的介电参数,且不影响显微观测微流道中的流体状态。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图2
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