发明专利已授权

集成电路声扫检测装置及其集成电路载具

📄 申请号：CN202510677720.X 📄 发布日：2026/07/24

著录项目信息

申请日

2025-05-26

公开号

CN120195285B

公开日

2025-09-02

申请人

电子科技大学成都学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N29_32

IPC 分类号

G01N29_32 , G01N29_28 , G01N29_04 , B08B7_02 ,

技术画像

所属领域

检测装置集成电路检测声学扫描检测半导体封装检测检测装置

应用场景

集成电路制造, 半导体封装检测, 晶圆检测, 电子元器件无损检测, 芯片可靠性分析

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摘要

本发明涉及集成电路声扫检测装置及其集成电路载具，属于集成电路检测技术领域。集成电路载具，包括固定边框和活动边框，活动边框位于固定边框内并与固定边框滑动配合，活动边框的一端连接有驱动活动边框往复直线运动的振动机构；活动边框上设置有用于对集成电路进行定位的定位机构，定位机构包括对集成电路进行支撑的支撑面；活动边框上设置有多个喷水通道，喷水通道的出水方向平行于支撑面且垂直于活动边框的直线运动方向。集成电路声扫检测装置包括上述集成电路载具。本发明不仅可以对集成电路表面的气泡进行去除，还可以去除集成电路内部微小孔洞中的气体，避免在扫描过程中，集成电路内部的气体排出而产生新的气泡，从而保证检测精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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