发明专利 已授权

一种基于界面态陷阱能级分布的图像传感器质量检测方法

📄 申请号:CN202010862471.9 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2020-08-25
公开号
CN112098801B
公开日
2023-03-31
申请人
杭州电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

芯片制造质量检测, 半导体器件可靠性评估, 图像传感器生产线测试, 消费电子摄像模组检测

摘要

本发明公开了一种基于界面态陷阱能级分布的图像传感器质量检测方法。本发明基于半物理‑半解析的建模思路描述了不同界面态陷阱能级分布下满阱容量动态变化的行为,从而解决了现有PPD满阱容量检测方法中对于界面态陷阱设计考虑不完全导致所得结果仅能反应满阱容量最大值的技术问题。本发明不仅能够更加合理、准确的预测满阱容量在不同界面态陷阱能级分布下的满阱容量的动态行为,而且本发明得到的满阱容量的值是在一段区间动态变化的,这直接关系着图像传感器的成像质量问题,通过提供PPD满阱容量的分布情况为图像传感器的电路设计提供依据。

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是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN112098801B

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图2
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