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一种基于碱性抛光凝胶的晶体硅表面精细抛光方法

Name: 一种基于碱性抛光凝胶的晶体硅表面精细抛光方法
Brand: 湖州飞鹿新能源科技有限公司
SKU: 2020106950747
Availability: InStock

📄 申请号：CN202010695074.7 📄 发布日：2026/10/14

著录项目信息

申请日

2020-07-19

公开号

CN111690987A

公开日

2020-09-22

申请人

湖州飞鹿新能源科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C30B33_10

IPC 分类号

C30B33_10 , C30B29_06 , H01L21_306 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体晶圆制造, 集成电路制程, 光伏电池片加工

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摘要

本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种基于碱性抛光凝胶的晶体硅表面精细抛光方法，其包括以下步骤：将硅研磨片浸入APM溶液中，进行超声波辅助清洗，得到表面带有一层二氧化硅薄膜的预抛光片，然后在预抛光片表面涂抹一层可光固化的碱性水凝胶，经紫外光固化之后在预抛光片得到一层碱性交联水凝胶层，升温至一定温度，对预抛光片表层进行腐蚀抛光一定时间得到抛光硅片。本发明克服了现有太阳能电池技术中的抛光液在抛光过程中的液体流动会对硅片的抛光造成不良影响，导致抛光均匀性不一，工艺不稳定的缺陷，经过本发明中的精细抛光方法抛光之后的晶体硅片具有更高的抛光均匀性稳定，同时其表面反射率明显提升而表面缺陷则明显减少。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN111690987A

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：21 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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