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实用新型
已授权
一种分担承重用微震基座支撑脚座
📄 申请号:CN201921300411.7
📄 发布日:2026/06/12
著录项目信息
申请日
2019-08-12
公开号
CN210318340U
公开日
2020-04-14
申请人
江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
F16F15_04
IPC 分类号
F16F15_04
技术画像
所属领域
微振动控制
微振动控制
减振隔振技术
精密设备支撑结构
应用场景
半导体制造设备, 精密仪器, 光学设备, 测量检测设备, 实验室设备
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摘要
本实用新型公开了一种分担承重用微震基座支撑脚座,包括底板,所述底板上连接有立柱,且立柱与底板之间设置有加强筋,所述立柱上方设置有减震块,且减震块上连接有柱体,所述柱体上设置有挡圈,且柱体上套接有弹簧,所述减震块与立柱之间设置有弹性垫,所述减震块上开设有卡槽和球面槽,且球面槽内活动连接有球面块,所述球面块固定连接于顶板上,且顶板上设置有限位块,且限位块位于卡槽内,且限位块与减震块之间设置有密封胶圈,将若干支撑脚座根据基座的规格进行安装,可以分担基座承受的重量,避免基座和地板发生变形和下陷,减震块与立柱之间设置了用来缓冲减震的弹性垫和弹簧,可以有效的化解从基座上传导来的震动。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种集成电路无尘车间机台脚式横梁载重基座
当前第 / 件
一种承重防微震基座
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