本发明公开了基于接触粘附剥离的金属表面微凹结构制造方法与装置。目前还没有利用接触粘附剥离金属表面原理进行微凹结构制造的方法与装置。本发明通过对模板金属块和待加工金属块施加超声振动,并利用模板金属块和待加工金属块之间的温度差,促进待加工金属块表面原子层发生驰豫重组,使待加工金属块表面原子层向模板金属块表面微凸结构粘附;通过对待加工金属块表面粘附层进行多次的剥离,实现开设微凹结构的目的;通过高速摄像机与图像处理主机实现对微凸结构的检测;本发明微凹结构制造方法简便,使用环境安全,适用性较广。
📄 2018108181145
📂 B23H1_00
👤 杭州电子科技大学
📅 2018-07-24
本发明公开了一种基于DMD数字光刻的曲面复眼透镜及其制备方法,该曲面复眼透镜为半球形结构,半球形结构由内至外依次包括半球型曲面焦面、弹力膜以及曲面微透镜阵列,所有级次子眼构成曲面微透镜阵列,所有级次子眼包括位于曲面微透镜阵列中心的一级子眼以及以一级子眼为圆心设置的多圈n级子眼,其中n为大于等于2的整数。半球型曲面焦面向弹力膜的一面均匀设置有若干个与子眼一一对应的感光传感器。本发明通过数字微反射镜DMD数字光刻对微透镜结构进行三维光刻,仅需要进行一次倒模即可获得微透镜阵列。子眼的口径、矢高以及曲面复眼透镜的曲率半径可控,制造的微透镜尺寸和面形精度高以及表面均匀性好,且制备工艺简单,成本低。
📄 202210035089X
📂 G02B3_00
👤 西华大学
📅 2022-01-13
本发明公开了一种阶梯型微纳米尺度槽道模型及其制备方法,具体涉及微纳米尺度槽道技术领域,包括基板,所述基板底部表面设有进入孔,所述进入孔一侧设有出口孔,所述基板表面设有第一微槽道滞留腔,所述进入孔贯穿基板且延伸至第一微槽道滞留腔内部,所述第一微槽道滞留腔顶部设有开口,所述第一微槽道滞留腔一侧设有微槽道区别区。本发明通过对第一纳米分割槽道和第二纳米分割槽道内部的物料流动速度进行分类测量,从而形成对比,同时采用控制少量的物料通过调节孔排出,最终得出在物料泄露的情况下第一微槽道测量区和第二微槽道测量区监测到的流动速度,提升对微纳米尺度孔隙内流动特性的检测力度,提高流动速度测量的多样性。
📄 2019110196675
📂 B81B1_00
👤 广东石油化工学院
📅 2019-10-24
本发明涉及一种微通道器件加工工艺,依序包括以下步骤:在计算机内建立待加工的微通道器件三维数据模型;使用光固化打印机按照所得三维数据模型打印凹型板及平面板,所述微通道器件的微通道凹槽打印在所述凹形板表面,所述平面板表面平整无凹槽;对凹型板及平面板进行清洗干燥;将经过上述处理的凹型板及平面板进行真空贴合,所述凹槽板打印有凹槽的面为贴合面;真空贴合后再对其进行UV固化处理。相对于现有技术,本发明采用低成本的光固化打印机进行面成型,具有基板平整度好、制作效率高、操作简单和成本低的特点,可直接用于单件或小批量的微通道器件的快速制造,降低了微通道器件的生产成本,方法针对单件或小批量生产微通道器件非常高效。
📄 2020104663447
📂 B01L3_00
👤 韶关学院
📅 2020-05-28
本发明提供了一种脆性材料表面纳米孔阵列的加工装置及方法,脆性材料基底的上表面镀有金属薄膜,所述金属薄膜的上面铺设单层致密排布的微球,所述脆性材料基底置于一工作台上;激光器、扩束镜、光束整型器沿水平方向依次设置,扫描振镜、聚光透镜集工作台沿竖直方向从上至下依次设置;激光器产生的激光依次通过扩束镜、光束整型器后经由反射镜反射到达扫描振镜以及聚焦透镜,再辐照到铺设有微球的镀有金属薄膜的脆性材料基底的上表面;计算机连接所述激光器集扫描振镜,所述计算机控制激光器产生的激光束的脉冲能量和重复频率。应用本技术方案在脆性材料基底表面铺设单层致密排布的微球可以实现大面积纳米孔阵列的加工。
📄 2020102740627
📂 B23K26_352
👤 华侨大学
📅 2020-04-09
本发明公开了一种摩擦面上微纳结构的激光干涉诱导电解加工方法和装置,属于特种加工技术中的微细加工领域。本发明包括激光分束聚焦系统,电化学电解系统和运动控制系统,利用激光分束聚焦系统,将一束激光分成两束,再通过聚焦,将两束光在光斑处重叠,发生干涉效应,形成干涉光斑。干涉光斑的能量分布不均,也使得对应区域内的电解液温度和电导率分布不均,引起电化学电解速度不一致,从而刻蚀出一定几何特征的表面微纳结构,同时光斑能量的分布不均,引起电解液局部的冲击,诱导出超声振动,促进了刻蚀产物的排出,提高电解加工效率。运动控制系统控制工件的进给和旋转,实现不同形状、尺寸表面织构的加工。
📄 202010972128X
📂 B23K26_00
👤 江苏大学
📅 2020-09-16
本发明公开一种用于金属板件表面的微织构加工设备,包括加工箱体、装夹机构以及电磁加速机构,所述加工箱体内设有与待加工金属板件的加工平面的形状相同的内腔,该内腔内设有多个紧密排列的直圆管,所述直圆管的内腔构成加工通道,每个加工通道中均设有用于高速撞击加工的钢珠;所述装夹机构将待加工金属板件装夹固定在加工箱体的顶部;所述电磁加速机构包括脉冲螺旋线圈和脉冲电源,所述脉冲螺旋线圈环绕在加工箱体的外侧壁上;在竖直方向上,所述脉冲螺旋线圈所处的位置位于放置在加工通道中静态下的钢珠的位置之上。该微织构加工设备采用全新的加工技术,具有结构简单、加工成本较低以及加工效率高等优点。
📄 2019109975298
📂 B23P9_00
👤 广州大学
📅 2019-10-18
本发明公开了一种大尺寸无拼接微纳模具制造方法,包括以下步骤:步骤一:基板预处理;步骤二:制造牺牲结构;根据所要制造的微纳模具图形结构,采用热熔融电流体动力喷射打印在硅基板上制造出牺牲结构;步骤三:复制或转移牺牲结构;以打印的牺牲结构为掩模,将牺牲结构复制或转移到基板上;步骤四:去除牺牲结构;将基板上残余的牺牲结构去除,然后将基板去离子水超声处理20min,制得具有所需微纳结构图案的母模板;步骤五:母模板抗粘附处理。本发明结合热熔融电流体动力喷射打印、刻蚀或者微电铸的优势,实现大尺寸无拼接微纳模具的制造,尤其是具有能够实现米级尺度无拼接微纳模具快速和低成本制造的独特优势。
📄 2017114080255
📂 G03F7_00
👤 青岛理工大学
📅 2017-12-22