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发明专利
已授权
一种高定位精度的非接触式压电电机
📄 申请号:CN202010839114.0
📄 发布日:2026/05/07
著录项目信息
申请日
2020-08-19
公开号
CN111953227B
公开日
2022-08-16
申请人
燕山大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H02N2_04
IPC 分类号
H02N2_04
,
H02N2_06
,
H02N2_02
,
技术画像
所属领域
压电电机
压电电机
非接触驱动
精密定位
应用场景
精密定位, 半导体制造, 光学调整, 微纳操控, 工业自动化
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摘要
本发明公开了一种高定位精度的非接触式压电电机,包括顶板和底板,所述底板两端连接有左侧板和右侧板,所述底板上设置有柔性放大机构,所述柔性放大机构内设置有压电堆、三角放大机构和杠杠放大机构;所述柔性放大机构一端设置有电磁铁,所述顶板一端与左侧板连接,另一端与右侧板连接,所述顶板下方安装有导轨,导轨上设置有滑块,所述滑块与导轨可相对滑动,该非接触式压电电机定位精度高,结构简单且易于控制,解决了接触式压电电机的摩擦磨损的问题,又增加了非接触式压电电机传动介质的稳定性和可控性,因此具有广阔的应用前景。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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📌 交易状态:
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未申报
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