发明专利已授权

一种原位刻蚀金刚石的方法

📄 申请号：CN202210672789.X 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2022-06-15

公开号

CN114956073B

公开日

2023-12-12

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C01B32_28

IPC 分类号

C01B32_28

技术画像

所属领域

金刚石加工金刚石加工刻蚀工艺材料表面处理

应用场景

半导体制造, 光学器件加工, 精密机械加工

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摘要

本发明公开了一种原位刻蚀金刚石的方法，涉及金刚石刻蚀技术领域。本发明在反应气体气氛下，利用会聚电子束对金刚石进行刻蚀，具有加工精度高、工艺简单、成本低、效率高的特点，可实现金刚石的定向刻蚀，且加工后的金刚石样品干净无污染，无需再处理，可节省大量时间和资源。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：63 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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