发明专利 已授权

一种结构紧凑型高位移放大比的柔顺机构

📄 申请号:CN202410451727.5 📄 发布日:2026/09/04

著录项目信息

申请日
2024-04-16
公开号
CN118054692A
公开日
2024-05-17
申请人
华东交通大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

精密定位, 微位移驱动, 半导体制造设备, 光学精密仪器, 微纳制造

摘要

本发明提供一种结构紧凑型高位移放大比的柔顺机构,包括压电陶瓷驱动件;杠杆放大机构,杠杆放大机构的输入端通过输入块连接压电陶瓷驱动件;一级桥式放大机构中包含杠杆放大机构;二级桥式放大机构,二级桥式放大机构通过支撑杆与一级桥式放大机构连接。本发明通过压电陶瓷驱动,输入块端受到力的驱动而产生位移变形,通过三级放大实现了高放大比、大行程,存在合适的大输出位移和合适的输出刚度,具有动态响应快速的特点,该机构在保证较高工作带宽的前提下,实现了大输出位移,还可以实现输入位移的换向功能,兼具结构紧凑、运动平稳、精度高等优点。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图2
图3

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