发明专利已授权

一种元素半导体的加工设备及其工艺

📄 申请号：CN202211624853.3 📄 发布日：2026/07/13

著录项目信息

申请日

2022-12-16

公开号

CN116175302B

公开日

2025-10-17

申请人

江苏际弘汽车科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B7_22

IPC 分类号

B24B7_22 , B24B29_02 , B24B55_12 , B24B27_00 , B24B47_12 , B24B41_00 , B24B55_06 , B24B41_06 ,

技术画像

所属领域

半导体加工设备半导体加工设备半导体工艺元素半导体材料

应用场景

半导体制造, 集成电路, 电子器件

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摘要

本发明公开了一种元素半导体的加工设备，包括底板，所述底板的顶部安装有套座，所述底板的顶部安装有四组呈方形布置的支撑杆，四组所述支撑杆的顶部安装有工作台，所述工作台的顶部设置有卡合槽，所述工作台的一侧外壁安装有两组前后布置的固定板，所述工作台的顶部安装有N型板；所述套座的内壁安装有圆柱座，所述套座的底壁安装有多节电伸杆，所述圆柱座的顶部设置有两组并排布置的凹槽，所述多节电伸杆的顶部安装有综合板。本发明中，工作人员的手部无需处于抛光机构的下方，继而避免手部碰伤的状况出现，同时本设备可进行晶圆裸片的翻面作业，且在抛光时，能够同步处理产生的废屑，以保证设备周围的工作环境。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：29 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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