发明专利已授权

一种硅片检测用真空吸盘装置

📄 申请号：CN202310588362.6 📄 发布日：2026/06/30

著录项目信息

申请日

2023-05-23

公开号

CN116553175B

公开日

2026-02-13

申请人

山西东明光伏科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B65G47_91

IPC 分类号

B65G47_91

技术画像

所属领域

真空吸附技术真空吸附技术半导体检测设备晶圆夹持机构

应用场景

半导体制造, 晶圆检测, 硅片加工, 半导体设备, 芯片制造

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摘要

本发明公开了一种硅片检测用真空吸盘装置，涉及硅片检测加工的技术领域，包括用于检测硅片厚度的检测仪、安装架和传动组件，所述安装架上设有若干个定位板，所述定位板上均匀设有用于吸附在硅片下表面的第一负压吸盘，所述检测仪位于定位板的一侧，所述安装架和传动组件之间形成转运路径，所述转运路径上移动设有转运架，所述转运架位于第一负压吸盘的上方，所述转运架上设有升降板，所述升降板升降设于转运架上，所述升降板的底部设有用于吸附在硅片上表面的第二负压吸盘，所述第二负压吸盘的水平投影与第一负压吸盘的水平投影相互重合。本发明便于无损转运检测后的硅片。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种电镀挂架自动清扫装置

当前第 / 件

一种单晶硅片缺陷检测方法、装置、电子设备及介质

同领域国内专利 · IPC: (B65G47_91)

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