真空吸附技术 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

发明已授权

本发明公开了一种硅片检测用真空吸盘装置，涉及硅片检测加工的技术领域，包括用于检测硅片厚度的检测仪、安装架和传动组件，所述安装架上设有若干个定位板，所述定位板上均匀设有用于吸附在硅片下表面的第一负压吸盘，所述检测仪位于定位板的一侧，所述安装架和传动组件之间形成转运路径，所述转运路径上移动设有转运架，所述转运架位于第一负压吸盘的上方，所述转运架上设有升降板，所述升降板升降设于转运架上，所述升降板的底部设有用于吸附在硅片上表面的第二负压吸盘，所述第二负压吸盘的水平投影与第一负压吸盘的水平投影相互重合。本发明便于无损转运检测后的硅片。

📄 2023105883626 📂 B65G47_91 👤 山西东明光伏科技有限公司 📅 2023-05-23

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一种硅片检测用真空吸盘装置

2023105883626 · 山西东明光伏科技有限公司

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