发明专利已授权

一种光电探测器阵列制备方法

📄 申请号：CN202010152180.0 📄 发布日：2025/12/10

著录项目信息

申请日

2020-03-06

公开号

CN111341918B

公开日

2022-02-01

申请人

电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L51_48

IPC 分类号

H01L51_48 , H01L51_42 , H01L51_46 , H01L27_30 ,

技术画像

所属领域

光电探测器光电子器件半导体器件探测器制造工艺光电探测器

应用场景

光通信, 光学成像, 环境监测, 医疗诊断, 工业检测

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摘要

本发明公开了一种光电探测器阵列制备方法，属于光电材料与器件技术领域，目的在于解决钙钛矿薄膜器件小型化、图形化的问题。其包括以下步骤：S1、首先对石英玻璃基底进行清洗，再对其表面进行处理；S2、对组分为Ti3C2Tx的MXene胶体溶液进行制备，并将制备好的MXene溶液旋涂在S1处理后的石英玻璃基底上成膜；S3、用激光直写对S2中得到涂覆有MXene薄膜的石英玻璃基底进行第一次沟道刻划；S4、在S3处理后的石英玻璃基底上制备钙钛矿吸收层；S5、采用激光直接对S4处理后的样品进行第二次刻划，去移除多余的钙钛矿吸收层；S6、采用激光直写对S5处理后的样品进行第三次刻划，分离出像素单元，形成钙钛矿成像阵列。本发明适用于光电探测器阵列制备方法。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于IDTCM的遥感地表温度时间归一化方法

当前第 / 件

一种实时检测细胞形貌变化和细胞粘附特性变化的EQCM方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：152 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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