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发明专利
已授权
一种用于超声扫描显微镜的定位仪
📄 申请号:CN201910527740.3
📄 发布日:2026/07/15
著录项目信息
申请日
2019-06-18
公开号
CN110220981B
公开日
2024-06-18
申请人
武汉工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01N29_22
IPC 分类号
G01N29_22
技术画像
所属领域
显微镜
精密定位
运动控制
超声检测
显微镜
应用场景
半导体封装检测, 电子元器件无损检测, 材料内部缺陷检测, 科研实验室, 精密制造质检
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摘要
本发明涉及一种用于超声扫描显微镜的定位仪,包括设置在超声扫描显微镜的水槽内的载物台、信息采集组件、夹持组件以及控制器,所述信息采集组件用于采集被测物体在所述载物台上的位置信息,所述夹持组件用于将所述信息采集组件固定在所述被测物体的正上方,并且所述信息采集组件与所述控制器电连接,从而通过所述信息采集组件就可以采集位于所述载物台上的被测物体的水平位置信息和竖直位置信息、并将采集到的水平位置信息和竖直位置信息传输至所述控制器,大大提高了探头位置调节的准确性,以避免探头与被测物体发生碰撞。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种用于超声扫描显微镜的定位系统和方法
当前第 / 件
一种用于超声扫描显微镜的定位系统和方法
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📌 交易状态:
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