发明专利已授权

一种用于超声扫描显微镜的定位系统和方法

📄 申请号：CN201910380340.4 📄 发布日：2026/07/15

著录项目信息

申请日

2019-05-08

公开号

CN110161130B

公开日

2023-08-22

申请人

武汉工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N29_265

IPC 分类号

G01N29_265

技术画像

所属领域

显微镜精密运动控制自动控制系统超声检测技术显微镜

应用场景

半导体封装检测, 电子元器件无损检测, 材料内部缺陷分析, 精密制造质量检测, 科研实验显微成像

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摘要

本发明涉及一种用于超声扫描显微镜的定位系统和方法，该系统包括：沿上下向延伸且下端可拆卸安装于超声扫描显微镜的水槽的安装杆；内端转动安装于所述安装杆，外端由所述内端沿所述安装杆的径向朝外延伸设置的摆动板；用以测量所述摆动板的摆动角度的角度测量传感器；用以测量所述安装座距离所述安装杆的第一距离的第一距离传感器；用以测量放置于所述超声扫描显微镜的水槽中待测件距离所述安装座的第二距离第二距离传感器；分别与所述角度测量传感器、所述第一距离传感器以及所述第二距离传感器电连接的控制器。本发明提供的技术方案可准确获知待测件在超声扫描显微镜水槽中的位置，从而提高探头位置调节效率并避免探头与待测件发生碰撞。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种用于超声扫描显微镜的定位仪

当前第 / 件

一种机械设计运动平衡检测装置和检测方法

同领域国内专利 · IPC: (G01N29_265)

G01N29_02 G01N29_024 G01N29_032 G01N29_036 G01N29_04 G01N29_06 G01N29_07 G01N29_09 G01N29_11 G01N29_12 G01N29_14 G01N29_22 G01N29_24 G01N29_26 G01N29_265 G01N29_27 G01N29_275 G01N29_28 G01N29_30 G01N29_32 G01N29_34 G01N29_36 G01N29_44 覆盖23个领域

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