发明专利已授权

一种单晶炉生产用智能水冷装置

Name: 一种单晶炉生产用智能水冷装置
Brand: 阳光能源(青海)有限公司
SKU: 2022115164691
Availability: InStock

📄 申请号：CN202211516469.1 📄 发布日：2025/11/03

著录项目信息

申请日

2022-11-30

公开号

CN115787066B

公开日

2025-10-31

申请人

阳光能源(青海)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C30B15_00

IPC 分类号

C30B15_00 , C30B29_06 ,

技术画像

所属领域

单晶炉单晶生长设备冷却系统自动温度控制单晶炉

应用场景

单晶硅制备, 半导体材料制造, 光伏材料生产, 晶体生长工业, 工业循环冷却

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摘要

本发明涉及单晶炉生产技术领域，具体为一种单晶炉生产用智能水冷装置，包括炉体，炉体的内侧固定安装有环形板，环形板的中部通过驱动机构设置有若干沿环形板孔洞内壁环形阵列的第一水冷板，驱动机构用于驱动若干第一水冷板同步向环形板的中心移动或远离其中心，相邻的两个第一水冷板相互靠近的一端皆通过连接结构设置有第二水冷板，连接机构用于当第一水冷板移动时带动若干第二水冷板同步移动，且二者之间的角度不变，若干第一水冷板和若干第二水冷板之间设置有通水机构，通水机构用于将冷却水从第一水冷板和第二水冷板的顶端注入到二者内，且通过二者的底端排到炉体外，解决了现有的单晶炉无法在生产加工的过程中切换不同尺寸的水冷热屏的问题。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20251031

✅ 授权

20230331

?? 实质审查的生效：

20230314

📄 公开

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