发明专利已授权

一种基于智能压电阵列的微振动抑制平台及其控制方法

📄 申请号：CN202110053908.9 📄 发布日：2026/06/10

著录项目信息

申请日

2021-01-15

公开号

CN112923012B

公开日

2022-07-01

申请人

盐城工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F16F15_08

IPC 分类号

F16F15_08 , F16F15_02 , F16F15_00 ,

技术画像

所属领域

控制方法振动控制压电材料与器件智能结构与系统控制方法

应用场景

精密制造, 半导体设备, 光学平台, 精密仪器, 航天器微振动抑制

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摘要

本发明公开了一种基于智能压电阵列的微振动抑制平台，包括上平台、下平台以及均布在上平台、下平台之间的主阻尼器和副阻尼器；主阻尼器、副阻尼器呈倾斜状，主阻尼器轴线延长线相交于上平台上方一点；所述阻尼器包括外套筒、位于阻尼器中轴线的主轴杆和设于外套筒中部的压电叠堆阵列，压电叠堆阵列至少包括两个压电叠堆，各压电叠堆相对于主轴杆对称分布，该阵列的中心为空心。本发明实现对微振动信号在6个自由度上的控制与抑制，从而实现了对来自各个方向和运动维度的微振动信号的全面抑制，极大提高了振动抑制平台的可靠性。对具有低频、各向异性和随机性较大的微振动信号，实现了在各个方向和维度上的精准抑制。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

发动机压缩空气供给系统、发动机及发动机控制方法

当前第 / 件

变角度双轴拉伸与热场耦合材料微观力学性能原位测试仪

同领域国内专利 · IPC: (F16F15_08)

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