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| 专利/申请号： | CN202110053908.9 | 专利名称： | 一种基于智能压电阵列的微振动抑制平台及其控制方法 |
| 申请日： | 2021-01-15 | 申请/专利权人 | 盐城工学院 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省盐城市希望大道中路1号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | F16F15/08 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-07-01 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN112923012B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 精密仪器制造 振动控制技术 智能材料应用专利转让搜索 |
应用场景：光刻机微振动补偿；航空航天精密设备隔振；半导体制造环境振动抑制
摘 要：本发明公开了一种基于智能压电阵列的微振动抑制平台，包括上平台、下平台以及均布在上平台、下平台之间的主阻尼器和副阻尼器；主阻尼器、副阻尼器呈倾斜状，主阻尼器轴线延长线相交于上平台上方一点；所述阻尼器包括外套筒、位于阻尼器中轴线的主轴杆和设于外套筒中部的压电叠堆阵列，压电叠堆阵列至少包括两个压电叠堆，各压电叠堆相对于主轴杆对称分布，该阵列的中心为空心。本发明实现对微振动信号在6个自由度上的控制与抑制，从而实现了对来自各个方向和运动维度的微振动信号的全面抑制，极大提高了振动抑制平台的可靠性。对具有低频、各向异性和随机性较大的微振动信号，实现了在各个方向和维度上的精准抑制。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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