实用新型已授权

一种密度可调整的磁控镀膜溅射靶材工装

📄 申请号：CN202123372881.4 📄 发布日：2025/09/29

著录项目信息

申请日

2021-12-29

公开号

CN217474739U

公开日

2022-09-23

申请人

上海振卡新材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B21J9_08

IPC 分类号

B21J9_08 , B21J9_10 , B21J13_03 , B21K27_00 , B21K29_00 , C23C14_35 ,

技术画像

所属领域

磁控溅射设备磁控溅射设备溅射靶材工装真空镀膜

应用场景

真空镀膜, 表面处理, 半导体制造, 光学镀膜, 工具涂层

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摘要

本实用新型公开了一种密度可调整的磁控镀膜溅射靶材工装，包括底座，所述底座上端的左侧固定安装有传送室，所述传送室的右端活动安装有传送门，所述传送门的右端固定安装有锻造室，所述锻造室的右端固定安装有控制系统，所述锻造室的上端固定安装有液压缸，所述液压缸的下端位于锻造室的内部固定安装有限位板，所述限位板的下端固定安装有上压模，所述上压模的下方固定安装有下压模。该密度可调整的磁控镀膜溅射靶材工装，利用驱动电机对原材料进行传送的同时可以自动打开传送门，自动化程度较高，操作简便，节省了人力成本，通过安装加热元件以及温度传感器，可以控制原材料预加热以及锻造时的温度，以得到预期密度的靶材。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种便于拆卸纱窗的推拉窗（门窗、纱窗、推拉窗）

当前第 / 件

一种印花多样的礼品盒纸盒

同领域国内专利 · IPC: (B21J9_08)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：160 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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