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| 专利/申请号： | CN202123372881.4 | 专利名称： | 一种密度可调整的磁控镀膜溅射靶材工装 |
| 申请日： | 2021-12-29 | 申请/专利权人 | 上海振卡新材料科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 上海市宝山区地杰路58号1幢1层B区349室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B21J9/08 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-09-23 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN217474739U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 6 | 所属领域： | 磁控溅射技术 半导体制造 显示器制造 信息存储设备生产专利转让搜索 |
应用场景：半导体器件镀膜工艺优化;显示器薄膜沉积;硬盘/固态硬盘磁性材料镀层制备;U盘存储芯片表面处理;高密度磁控镀膜场景下的靶材密度动态调整
摘 要：本实用新型公开了一种密度可调整的磁控镀膜溅射靶材工装，包括底座，所述底座上端的左侧固定安装有传送室，所述传送室的右端活动安装有传送门，所述传送门的右端固定安装有锻造室，所述锻造室的右端固定安装有控制系统，所述锻造室的上端固定安装有液压缸，所述液压缸的下端位于锻造室的内部固定安装有限位板，所述限位板的下端固定安装有上压模，所述上压模的下方固定安装有下压模。该密度可调整的磁控镀膜溅射靶材工装，利用驱动电机对原材料进行传送的同时可以自动打开传送门，自动化程度较高，操作简便，节省了人力成本，通过安装加热元件以及温度传感器，可以控制原材料预加热以及锻造时的温度，以得到预期密度的靶材。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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