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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202010603301.9 | 专利名称: | 一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块 |
申请日: | 2020-06-29 | 申请/专利权人 | 青岛科技大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省青岛市崂山区松岭路99号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | B23Q1/01 分类检索 |
公开/公告日: | 2020-08-28 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN111590340A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 29 | 所属领域: | 精密机械 自动控制 气体轴承技术 高端装备制造专利转让搜索 |
应用场景:半导体晶圆传输设备;超精密测量仪器;光学检测平台;数控机床主轴支撑系统;纳米级定位装置
摘 要:本发明公开了一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块,涉及静压技术领域,包括:静压滑块和与之配合的导轨,所述静压滑块包括本体、压电陶瓷驱动器、气垫、薄膜、多孔质材料、碟形弹簧、调节垫片、螺栓和位移传感器。所述多孔质材料与导轨之间形成气垫间隙,可通过控制压电陶瓷驱动器实现对气垫间隙大小的主动控制。所述位移传感器位于本体内静压滑块与导轨配合处,以测量静压滑块与导轨的配合间隙,作为控制的反馈信号。本发明的有益效果是,实现对气垫间隙的实时控制,以适应导轨加工误差和外部载荷变化,显著提高滑块的运动精度。通过调整调节垫片的厚度,可以实现对初始节流比的调节,以适应气体静压导轨的结构参数和工况的变化。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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