发明专利已授权

一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块

📄 申请号：CN202010603301.9 📄 发布日：2025/09/02

著录项目信息

申请日

2020-06-29

公开号

CN111590340A

公开日

2020-08-28

申请人

青岛科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23Q1_01

IPC 分类号

B23Q1_01 , B23Q17_00 ,

技术画像

所属领域

气体静压导轨气体静压导轨主动控制技术精密机械部件

应用场景

超精密加工设备, 精密测量仪器, 半导体制造装备, 气浮导轨系统, 三坐标测量机

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摘要

本发明公开了一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块，涉及静压技术领域，包括：静压滑块和与之配合的导轨，所述静压滑块包括本体、压电陶瓷驱动器、气垫、薄膜、多孔质材料、碟形弹簧、调节垫片、螺栓和位移传感器。所述多孔质材料与导轨之间形成气垫间隙，可通过控制压电陶瓷驱动器实现对气垫间隙大小的主动控制。所述位移传感器位于本体内静压滑块与导轨配合处，以测量静压滑块与导轨的配合间隙，作为控制的反馈信号。本发明的有益效果是，实现对气垫间隙的实时控制，以适应导轨加工误差和外部载荷变化，显著提高滑块的运动精度。通过调整调节垫片的厚度，可以实现对初始节流比的调节，以适应气体静压导轨的结构参数和工况的变化。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20241022

✅ 授权

20210209

?? 实质审查的生效：

20200828

📄 公开

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当前第 / 件

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