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| 专利/申请号： | CN202010603301.9 | 专利名称： | 一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块 |
| 申请日： | 2020-06-29 | 申请/专利权人 | 青岛科技大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 山东省青岛市崂山区松岭路99号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | B23Q1/01 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2020-08-28 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN111590340A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 精密机械 自动控制 气体轴承技术 高端装备制造专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶圆传输设备;超精密测量仪器;光学检测平台;数控机床主轴支撑系统;纳米级定位装置
摘 要：本发明公开了一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块，涉及静压技术领域，包括：静压滑块和与之配合的导轨，所述静压滑块包括本体、压电陶瓷驱动器、气垫、薄膜、多孔质材料、碟形弹簧、调节垫片、螺栓和位移传感器。所述多孔质材料与导轨之间形成气垫间隙，可通过控制压电陶瓷驱动器实现对气垫间隙大小的主动控制。所述位移传感器位于本体内静压滑块与导轨配合处，以测量静压滑块与导轨的配合间隙，作为控制的反馈信号。本发明的有益效果是，实现对气垫间隙的实时控制，以适应导轨加工误差和外部载荷变化，显著提高滑块的运动精度。通过调整调节垫片的厚度，可以实现对初始节流比的调节，以适应气体静压导轨的结构参数和工况的变化。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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