本发明公开了一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块,涉及静压技术领域,包括:静压滑块和与之配合的导轨,所述静压滑块包括本体、压电陶瓷驱动器、气垫、薄膜、多孔质材料、碟形弹簧、调节垫片、螺栓和位移传感器。所述多孔质材料与导轨之间形成气垫间隙,可通过控制压电陶瓷驱动器实现对气垫间隙大小的主动控制。所述位移传感器位于本体内静压滑块与导轨配合处,以测量静压滑块与导轨的配合间隙,作为控制的反馈信号。本发明的有益效果是,实现对气垫间隙的实时控制,以适应导轨加工误差和外部载荷变化,显著提高滑块的运动精度。通过调整调节垫片的厚度,可以实现对初始节流比的调节,以适应气体静压导轨的结构参数和工况的变化。
📄 2020106033019
📂 B23Q1_01
👤 青岛科技大学
📅 2020-06-29