实用新型 已授权

狭缝节流气浮转台

📄 申请号:CN202020695382.5 📄 发布日:2026/04/29

著录项目信息

申请日
2020-04-29
公开号
CN212192103U
公开日
2020-12-22
申请人
苏州智润精工科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密测量, 精密加工, 半导体制造, 光学仪器, 智能制造

摘要

本实用新型涉及一种狭缝节流气浮转台,包括转轴、工作台、驱动部件及气浮轴承,转轴包括转轴主体、上法兰与下法兰,工作台设在上法兰上,驱动部件设在下法兰上,气浮轴承包括下止推凸台、径向节流套以及径向端环、气室外套,气室外套与径向节流套之间形成气室;在下止推凸台上设下定位台阶,在下定位台阶上设下止推圆环;在工作台与上法兰之间设上止推凸台,在上止推凸台上设上定位台阶,在上定位台阶上设上止推圆环,在上止推圆环与下止推圆环之间设定距环;在径向节流套上形成狭缝,在上定位台阶处形成狭缝,在下定位台阶处形成狭缝,气体从狭缝进入转轴的外表面并形成气膜。防止气锤振动及微观跳动现象发生,工作更加稳定,具有更好的精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

¥2300.0
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:67 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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