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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202020695382.5 | 专利名称: | 狭缝节流气浮转台 |
申请日: | 2020-04-29 | 申请/专利权人 | 苏州智润精工科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市昆山开发区前进东路科技广场大楼404室56号工位 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B23Q1/38 分类检索 |
公开/公告日: | 2020-12-22 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN212192103U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 5 | 所属领域: | 精密机械 气浮技术 半导体制造设备专利转让搜索 |
应用场景:光刻机硅片承载台;超精密测量仪器基座;高端数控机床回转工作台;高世代显示面板传输平台;晶圆检测设备载物平台
摘 要:本实用新型涉及一种狭缝节流气浮转台,包括转轴、工作台、驱动部件及气浮轴承,转轴包括转轴主体、上法兰与下法兰,工作台设在上法兰上,驱动部件设在下法兰上,气浮轴承包括下止推凸台、径向节流套以及径向端环、气室外套,气室外套与径向节流套之间形成气室;在下止推凸台上设下定位台阶,在下定位台阶上设下止推圆环;在工作台与上法兰之间设上止推凸台,在上止推凸台上设上定位台阶,在上定位台阶上设上止推圆环,在上止推圆环与下止推圆环之间设定距环;在径向节流套上形成狭缝,在上定位台阶处形成狭缝,在下定位台阶处形成狭缝,气体从狭缝进入转轴的外表面并形成气膜。防止气锤振动及微观跳动现象发生,工作更加稳定,具有更好的精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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