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| 专利/申请号： | CN202020470868.9 | 专利名称： | 空气静压导轨 |
| 申请日： | 2020-04-02 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | F16C32/06 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 29 | 所属领域： | 机械工程 精密定位设备 半导体制造设备专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶圆传输系统;精密光学仪器位移平台;数控机床主轴单元;电子元件组装产线;超精密测量装置
摘 要：本实用新型提供了一种空气静压导轨，所述空气静压导轨包括导轨、设置在所述导轨上侧的顶板、设置在所述导轨下侧的底板、设置在所述导轨两侧的两个侧板、气控组件，所述顶板、底板和侧板上均设有气道和节流器，所述节流器设置在气道靠近所述导轨的一侧，所述气控组件包括控制板和多个进气接口，多个所述进气接口与所述气道连接，以向所述气道内注入空气，所述顶板和底板上的气道相互独立，所述控制板控制进入空气压力以改变所述顶板和底板与所述导轨之间的气膜厚度。本实用新型的空气静压导轨，可以对运行的底板和顶板进行运动补偿，适合高精度的检测。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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