实用新型已授权

空气静压导轨

📄 申请号：CN202020470868.9 📄 发布日：2026/04/29

著录项目信息

申请日

2020-04-02

公开号

CN211852514U

公开日

2020-11-03

申请人

苏州智润精工科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16C32_06

IPC 分类号

F16C32_06

技术画像

所属领域

气体润滑技术气体润滑技术精密导轨精密运动控制

应用场景

精密加工设备, 精密测量仪器, 半导体制造设备, 超精密运动平台, 光机电一体化装备

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型提供了一种空气静压导轨，所述空气静压导轨包括导轨、设置在所述导轨上侧的顶板、设置在所述导轨下侧的底板、设置在所述导轨两侧的两个侧板、气控组件，所述顶板、底板和侧板上均设有气道和节流器，所述节流器设置在气道靠近所述导轨的一侧，所述气控组件包括控制板和多个进气接口，多个所述进气接口与所述气道连接，以向所述气道内注入空气，所述顶板和底板上的气道相互独立，所述控制板控制进入空气压力以改变所述顶板和底板与所述导轨之间的气膜厚度。本实用新型的空气静压导轨，可以对运行的底板和顶板进行运动补偿，适合高精度的检测。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

具有主轴位置调整功能的直线回转运动装置

当前第 / 件

狭缝节流气浮转台

同领域国内专利 · IPC: (F16C32_06)

F16C32_00 F16C32_04 F16C32_06 覆盖3个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种基于气垫导轨的油气粘度测试系统

¥0.0

2022110381095 · 浙江工业大学

¥2300.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：70 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)