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| 专利/申请号： | CN202220624763.3 | 专利名称： | 一种低成本往复式磁控溅射镀膜生产线 |
| 申请日： | 2022-03-21 | 申请/专利权人 | 南通理工学院 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省南通市崇川区永兴路211号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/35 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-07-26 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN217052383U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 46 | 所属领域： | 其他专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型公开了一种低成本往复式磁控溅射镀膜生产线，包括能往复传输基材的带式输送线，所述带式输送线上设有若干能相互连通的腔室，各个腔室之间均设有闸板阀，所述腔室至少包括镀膜工艺腔室，所述镀膜工艺腔室内固定设置有靶材，所述靶材沿所述带式输送线的横向设置，形成阴极磁场的磁铁沿所述靶材横向排列，阴极磁场的磁力线顶端方向与基材传输方向平行。本实用新型使用后等离子体在靶材跑道径向的刻蚀在基片径向方向上均匀分布，消除了跑道深度梯度变化对薄膜均匀性的影响，且本方案还降低了大规模生产的设备投入成本。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 2018114823746 | 【发明】一种改善塑料制品表面PVD薄镀均匀性的方法及其应用 | 2025/08/26 |
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| 2021215969329 | 【实用新型】一种便于调节的金属掩膜板框架 | 2025/08/18 |
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