摘要
本发明属于高精度长行程的双物体线性驱动器,包括有滑轨、第一承载台、第二承载台、永磁体和可伸缩压电元件,滑轨与第一承载台和第二承载台滑动连接,可伸缩压电元件的一端与第一承载台固定连接,可伸缩压电元件的另一端与永磁体固定连接,第二承载台的材料为铁磁材料,第二承载台与滑轨滑动连接,永磁体吸附在第二承载台上,可伸缩压电元件施加驱动电压后进行伸长或收缩,使第一承载台和第二承载台在滑轨内滑动。本发明提供的高精度长行程的双物体线性驱动器系统由单一可伸缩压电元件驱动,复杂度低,可以很大程度的降低设备体积,并同时可实现两个物体各自独立驱动,且两个物体都可进行高精度(数纳米)、长行程(数毫米或厘米)的定位。