实用新型 已授权

一种抛光垫修整装置

📄 申请号:CN202220829307.2 📄 发布日:2026/04/02

著录项目信息

申请日
2022-04-11
公开号
CN217833263U
公开日
2022-11-18
申请人
上海灏隆电子科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 晶圆抛光, 化学机械抛光, 芯片制造

摘要

本实用新型涉及打磨切割设备技术领域,尤其是一种抛光垫修整装置。其包括操作台,所述操作台上安装有电机,所述电机的输出端连接有磨盘,所述磨盘外圈固定安装有切具,所述操作台上开设有积尘槽,积尘槽位于磨盘的侧面,所述操作台上设有弧坡,所述弧坡位于切具的正前方,所述弧坡的侧方开设有凹槽,所述凹槽内设有自动回移组件,自动回移组件上安装有放置板。本实用新型通过设置自动回移组件,当工作人员手持被修整的抛光垫并将手部放置在放置板上,利用滑块在滑杆上滑动和弹簧的回弹作用,使得工作人员在修整抛光垫时手部不会抖动,从而增加修整的效果。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN217833263U

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该专利的转让价格是多少?

当前标价为 2100.0 元,不含过户费。支持议价,可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20221118
✅ 授权

同领域国内专利 · IPC: (B24B53_00)

¥2100.0 元
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:107 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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