发明专利已授权

一种高填充率PDMS微透镜阵列的制作装置及方法

📄 申请号：CN201710729979.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-08-23

公开号

CN107457984B

公开日

2019-04-02

申请人

青岛理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B29C64_112

IPC 分类号

B29C64_112 , B29C64_379 , B29C64_314 , B29C64_245 , B33Y10_00 , B33Y80_00 ,

技术画像

所属领域

微透镜阵列微透镜阵列微纳加工技术光学器件

应用场景

光通信, 光学成像, 显示技术, 生物医学检测, 光电传感

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摘要

本发明公开了一种高填充率PDMS微透镜阵列的制作装置及方法，将PDMS弹性体及固化剂分别注入相应微量注射泵中，并设定微量注射泵的注射速度，调整电喷印微喷头与打印基底之间的距离，设置电喷印过程中微喷射参数及三维工作台运动参数，将PDMS弹性体及固化剂按一定的混合比例注入被动微混合装置；电喷印微喷头根据设置的微喷射参数将PDMS微液滴喷射至打印基底上，形成PDMS微液滴阵列预固化；待微喷射完成后，将打印基底放置在加热炉中固化一定时间，使高填充率PDMS微透镜阵列固化成型。本发明采用被动微混合器将PDMS弹性体和固化剂进行实时有效微混合，减少了PDMS混合溶液真空脱泡过程，有效避免PDMS弹性体及固化剂完全混合后再使用时易形成预固化等现象。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

用于相变存储器的Si/Sb类超晶格相变薄膜材料及其制备方法

当前第 / 件

用于观测流体分布和流动的观测仿真系统及其工作方法

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