一种电弧离子源清洗基片装置

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摘     要：本实用新型涉及清洗基片装置领域，特别涉及一种电弧离子源清洗基片装置；包括圆柱状的清洗本体，所述清洗本体内部设置有真空内胆，所述真空内胆下面设置有隔板，所述隔板将真空内胆内部分为上腔和下腔，所述上腔外侧壁固接有若干电弧离子源组件，且所述上腔内壁对应电弧离子源组件的位置均设置有清洗板，所述上腔上方可拆卸连接有密封封盖，所述上腔内部可拆卸连接有清洗支撑架，所述密封封盖上设置有进气管和出气管，所述下腔内设置有电源，在所述隔板上设有贯穿口，所述电源上设有电极引入口，所述清洗本体的上方铰接有清洗封盖。本实用新型的目的在于提供一种电弧离子源清洗基片装置，能够实现清洗能量高、工作稳定、使用成本低的有益效果。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

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