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| 专利/申请号： | CN202022519900.0 | 专利名称： | 一种电弧离子源清洗基片装置 |
| 申请日： | 2020-11-04 | 申请/专利权人 | 南京迪奥赛真空科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省南京市秦淮区永智路6号白下高新技术产业园区四号楼501室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/02 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-06-22 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN213507161U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 80 | 所属领域： | 清洗专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型涉及清洗基片装置领域，特别涉及一种电弧离子源清洗基片装置；包括圆柱状的清洗本体，所述清洗本体内部设置有真空内胆，所述真空内胆下面设置有隔板，所述隔板将真空内胆内部分为上腔和下腔，所述上腔外侧壁固接有若干电弧离子源组件，且所述上腔内壁对应电弧离子源组件的位置均设置有清洗板，所述上腔上方可拆卸连接有密封封盖，所述上腔内部可拆卸连接有清洗支撑架，所述密封封盖上设置有进气管和出气管，所述下腔内设置有电源，在所述隔板上设有贯穿口，所述电源上设有电极引入口，所述清洗本体的上方铰接有清洗封盖。本实用新型的目的在于提供一种电弧离子源清洗基片装置，能够实现清洗能量高、工作稳定、使用成本低的有益效果。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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