一种晶圆缺陷检测装置及方法

摘     要：本发明公开了一种晶圆缺陷检测装置及方法，属于晶圆检测领域。一种晶圆缺陷检测装置，包括装置箱，还包括：顶板，固定连接在所述装置箱的上端，其中，所述顶板的下端固定安装有主检测头，所述顶板的下端安装有位于主检测头两侧的副检测头，所述副检测头不与主检测头平行；转动安装在所述装置箱上的检测台，其中，所述主检测头垂直于检测台的上端，所述装置箱内设有驱动检测台旋转的驱动部；本发明可以显著提升对晶圆检测的精度，保障了晶圆的最终品质。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注