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一种基于硅基氮化物的可变光分布器件及其制备方法

来源:https://www.shizifang.com  发布日:2024/11/05

摘     要:本发明公布了一种基于硅基氮化物的可变光分布器件及其制备方法,包括:透镜、量子阱GaN、P‑GaN、N‑GaN、EL电极、GaN基LED光源、静电MEMS微执行器、Si衬底。所述的基于GaN的LED光源是生长在Si衬底上,所述的透镜完全粘附在GaN基LED光源的正上方,所述的静电MEMS微执行器,包括由固定齿梳和可动齿梳构成的齿梳状结构,其中:固定齿梳连接在Si衬底上,可动齿梳与GaN基LED光源固定在一起,LED光源在可动齿梳的正上方。通过施加电压,Si基GaN‑LED在梳齿驱动器的作用下,在Si衬底平面做横向移动。当GaN基LED平行移动到透镜的光轴方向时,经过GaN基LED的准直光束将以与Si衬底平面成一定比例的角度偏转。该装置可用于定向照明,自由空间光通信以及机器人光学传感器等领域。

著 录 项: 

专利/申请号: CN201710244778.0 复制 专利名称: 一种基于硅基氮化物的可变光分布器件及其制备方法 复制
申请日: 2017-04-14 申请/专利权人 南京邮电大学
专利类型: 发明 地址: 江苏省南京市亚东新城区文苑路9号
专利状态: 已下证 查询审查信息 分类号: B81B7/02   半导体
公开/公告日: 2019-10-01 转让价格: 面议
公开/公告号: CN107188112B 交易状态: 等待洽谈   搜索相似专利

专利交易流程

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    5. 办理国家手续方提交办理官方手续,国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》;
    6. 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》;
    7. 平台把交易款项支付给卖家,至此专利转让合同完成。

专利转让材料

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    专利转让协议(需盖公章)一式两份 专利转让协议(需签字)一式两份
    卖家 营业执照副本复印件(需盖公章) 身份证复印件(需申请人签字)
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    专利转让协议(需盖公章)一式两份 专利转让协议(需签字)一式两份
    专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
    专利证原件(若授权下证) 专利证原件(若授权下证)

专利法律信息

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