发明专利已授权

一种基于硅基氮化物的可变光分布器件及其制备方法

Name: 一种基于硅基氮化物的可变光分布器件及其制备方法
Brand: 南京邮电大学
SKU: 2017102447780
Availability: InStock

📄 申请号：CN201710244778.0 📄 发布日：2025/03/06

著录项目信息

申请日

2017-04-14

公开号

CN107188112B

公开日

2019-10-01

申请人

南京邮电大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B81B7_02

IPC 分类号

B81B7_02 , B81C1_00 ,

技术画像

所属领域

半导体半导体

应用场景

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摘要

本发明公布了一种基于硅基氮化物的可变光分布器件及其制备方法，包括：透镜、量子阱GaN、P‑GaN、N‑GaN、EL电极、GaN基LED光源、静电MEMS微执行器、Si衬底。所述的基于GaN的LED光源是生长在Si衬底上，所述的透镜完全粘附在GaN基LED光源的正上方，所述的静电MEMS微执行器，包括由固定齿梳和可动齿梳构成的齿梳状结构，其中：固定齿梳连接在Si衬底上，可动齿梳与GaN基LED光源固定在一起，LED光源在可动齿梳的正上方。通过施加电压，Si基GaN‑LED在梳齿驱动器的作用下，在Si衬底平面做横向移动。当GaN基LED平行移动到透镜的光轴方向时，经过GaN基LED的准直光束将以与Si衬底平面成一定比例的角度偏转。该装置可用于定向照明，自由空间光通信以及机器人光学传感器等领域。

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……

图1

图2

图3

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