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化学机械研磨抛光机台

来源:https://www.shizifang.com  发布日:2024/10/30

摘     要:一种化学机械研磨抛光机台,涉及半导体技术领域,该化学机械研磨抛光机台包括机台本体和盖板,机台本体具有一带有开口的腔室,开口的边缘设置有密封槽,盖板的边缘设置有密封圈,盖板盖合在开口上并覆盖密封槽,密封圈压合在密封槽的底壁和盖板之间,以使盖板和机台密封连接,盖板上还设置有抽气结构,抽气结构与密封槽连通,用于对密封槽抽气,以防止密封槽内的气体泄漏到外部。相较于现有技术,本实用新型可通过抽气结构的抽气动作将泄漏气体从密封槽中抽走,防止腔室内部的气体由密封槽泄漏到外部,防止腔室内部气体大量外泄,有效防止AMC扩散,并提高了整个装置的安全可靠性。

著 录 项: 

专利/申请号: CN202022038604.9 复制 专利名称: 化学机械研磨抛光机台 复制
申请日: 2020-09-16 申请/专利权人 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
专利类型: 实用新型 地址: 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
专利状态: 已下证 查询审查信息 分类号: B24B37/34   半导体
公开/公告日: 2021-05-14 转让价格: 面议
公开/公告号: CN213197048U 交易状态: 等待洽谈   搜索相似专利

专利交易流程

  • 1. 买家选定所需专利,确认国家手续办理方,下单,确认交易合同;
    2. 卖家确认专利可交易;
    3. 买家支付交易款项到平台;
    4. 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方;
    5. 办理国家手续方提交办理官方手续,国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》;
    6. 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》;
    7. 平台把交易款项支付给卖家,至此专利转让合同完成。

专利转让材料

  • 交易方 企业 个人
    买家 营业执照副本复印件(需盖公章) 身份证复印件(签字)
    专利转让委托书(需盖公章)一式两份 专利转让委托书(需签字)一式两份
    专利转让协议(需盖公章)一式两份 专利转让协议(需签字)一式两份
    卖家 营业执照副本复印件(需盖公章) 身份证复印件(需申请人签字)
    解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请)
    专利转让协议(需盖公章)一式两份 专利转让协议(需签字)一式两份
    专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
    专利证原件(若授权下证) 专利证原件(若授权下证)

专利法律信息

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