实用新型已授权

化学机械研磨抛光机台

📄 申请号：CN202022038604.9 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2020-09-16

公开号

CN213197048U

公开日

2021-05-14

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B24B37_34

IPC 分类号

B24B37_34 , B24B41_02 ,

技术画像

所属领域

机械研磨化学机械抛光设备半导体制造设备晶圆平坦化研磨抛光抛光机机械研磨

应用场景

半导体晶圆加工, 集成电路制造, 芯片制造, 先进封装

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摘要

一种化学机械研磨抛光机台，涉及半导体技术领域，该化学机械研磨抛光机台包括机台本体和盖板，机台本体具有一带有开口的腔室，开口的边缘设置有密封槽，盖板的边缘设置有密封圈，盖板盖合在开口上并覆盖密封槽，密封圈压合在密封槽的底壁和盖板之间，以使盖板和机台密封连接，盖板上还设置有抽气结构，抽气结构与密封槽连通，用于对密封槽抽气，以防止密封槽内的气体泄漏到外部。相较于现有技术，本实用新型可通过抽气结构的抽气动作将泄漏气体从密封槽中抽走，防止腔室内部的气体由密封槽泄漏到外部，防止腔室内部气体大量外泄，有效防止AMC扩散，并提高了整个装置的安全可靠性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种导流盘安装治具

当前第 / 件

一种便于调节角度的模具限位装置

同领域国内专利 · IPC: (B24B37_34)

B24B37_00 B24B37_005 B24B37_013 B24B37_02 B24B37_025 B24B37_04 B24B37_08 B24B37_10 B24B37_11 B24B37_12 B24B37_14 B24B37_22 B24B37_24 B24B37_26 B24B37_27 B24B37_28 B24B37_30 B24B37_34 覆盖18个领域

¥1800.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：98 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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