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本实用新型提供了一种气相色谱质谱联用仪用真空保持装置，属于机械技术领域。该气相色谱质谱联用仪用真空保持装置包括送料装置、密封机构、夹持机构和取料机构。所述送料装置包括壳体、第一电缸和真空管，所述送料件固定在所述第一电缸的输出端，所述密封机构包括腔体和密封件，所述腔体固定在所述壳体的顶面，所述夹持机构包括第三电缸和夹持件，所述第三电缸的输出端贯穿所述壳体，所述升降板固定在所述第三电缸的输出端，所述第四电缸的输出端贯穿所述料桶，所述支撑板与所述料桶的内表面滑动连接。本实用新型可以使密封板与支撑板和壳体之间形成的空腔，尽量少的进入空气，从而节约抽真空所需时间，减少了能源消耗。

本实用新型实施例提供一种真空室，涉及半导体制程技术领域。真空室包括框体、门板、传动组件、步进电机和控制器，框体内具有真空腔，框体的一侧开设有与真空腔连通的入口；门板滑动连接在入口；传动组件的一端连接到门板；步进电机连接在传动组件的另一端；控制器与步进电机电连接，控制器用于控制步进电机驱动门板打开或关闭入口。真空室能够通过步进电机精确控制门板开关的速度和位置，降低门板与框体的撞击力度，减少震动，减少颗粒杂质的产生，提高产品的良率。