一种基于去反光效果的半导体晶圆加工质量检测方法

摘     要：本发明涉及图像处理技术领域，具体涉及一种基于去反光效果的半导体晶圆加工质量检测方法，即获取晶圆表面的RGB图像并对其进行灰度化处理得到灰度图像，提取RGB图像中的R通道图像、G通道图像以及B通道图像；获取灰度图像与各通道图像的边缘图像，得到各边缘图像中的边缘点与连接类；根据边缘点，计算各通道图像的边缘图像与灰度图像的边缘图像的差异度；基于差异度计算互异性；根据互异性、边缘点与连接类计算各通道图像的细节保留程度；进而得到尺度影响因子，基于尺度影响因子获取各通道图像的尺度参数，对RGB图像进行去反光操作，将去反光操作后的RGB图像输入到神经网络模型中，输出晶圆的缺陷。本发明能够精确得到晶圆的缺陷。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注