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| 专利/申请号： | CN202111198541.6 | 专利名称： | 一种单晶硅炉 |
| 申请日： | 2021-10-14 | 申请/专利权人 | 深圳市彦瑞鑫模具塑胶有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 广东省深圳市龙华区观澜街道库坑社区同富裕工业区28号华朗嘉工业园1号304 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | C30B15/00分类检索 半导体材料制备 半导体材料生产 晶体生长设备 单晶硅生产 石英坩埚 单晶硅棒加工 非金属元素专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2022-07-26 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN113913919B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本发明公布了一种单晶硅炉，包括炉本体和旋转提拉驱动组件，所述炉本体内设置有石英坩埚和加热器；所述旋转提拉驱动组件包括提拉气缸、导气盒、旋转部件以及提拉管，其中，所述导气盒配置在所述炉本体的外部，其内设置有导气腔，外壁设置有与所述导气腔连通的第一接头，所述第一接头用于连接配重源装置，所述提拉管为中空的长管结构，其一端与所述导气腔连通，另一端设置有闭合该中空长管开口的提拉头，所述提拉头伸入所述炉本体内；所述旋转部件用于驱动所述提拉管旋转，所述提拉气缸的输出端连接所述导气盒，用于驱动所述提拉头完成拉引工序；本发明提出一种单晶硅炉，克服了过去晶体在高晶转下生长易晃动的缺点，有效改善晶体的径向均匀性。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2022/07/26 | 授权 | |
| 2022/01/28 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C30B 15/00 专利申请号: 202111198541.6 申请日: 2021.10.14 |
| 2022/01/11 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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