发明专利已授权

一种单晶硅炉

📄 申请号：CN202111198541.6 📄 发布日：2025/09/18

著录项目信息

申请日

2021-10-14

公开号

CN113913919B

公开日

2022-07-26

申请人

深圳市彦瑞鑫模具塑胶有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C30B15_00

IPC 分类号

C30B15_00 , C30B29_06 , C30B15_30 ,

技术画像

所属领域

晶体生长设备晶体生长设备单晶硅制备设备半导体制造设备

应用场景

半导体材料制造, 光伏硅片制造, 集成电路用硅片, 单晶硅棒生产, 晶体生长工艺

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摘要

本发明公布了一种单晶硅炉，包括炉本体和旋转提拉驱动组件，所述炉本体内设置有石英坩埚和加热器；所述旋转提拉驱动组件包括提拉气缸、导气盒、旋转部件以及提拉管，其中，所述导气盒配置在所述炉本体的外部，其内设置有导气腔，外壁设置有与所述导气腔连通的第一接头，所述第一接头用于连接配重源装置，所述提拉管为中空的长管结构，其一端与所述导气腔连通，另一端设置有闭合该中空长管开口的提拉头，所述提拉头伸入所述炉本体内；所述旋转部件用于驱动所述提拉管旋转，所述提拉气缸的输出端连接所述导气盒，用于驱动所述提拉头完成拉引工序；本发明提出一种单晶硅炉，克服了过去晶体在高晶转下生长易晃动的缺点，有效改善晶体的径向均匀性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220726

✅ 授权

20220128

?? 实质审查的生效：

20220111

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：200 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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