专利名称:一种用于高纯硅晶体材料制备的蒸馏设备
申请号:2023210469299
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体材料制备 化学气相沉积 CVD 工艺 工业蒸馏技术
相似专利
发布日:2025/10/23
应用场景:高纯多晶硅提纯生产;光伏级单晶硅制造;电子级硅材料精炼
专利名称:一种直拉型单晶炉用的环形加热器
申请号:2023220410395
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体材料制备 单晶生长设备
相似专利
发布日:2025/09/22
应用场景:直拉单晶硅生产;光伏晶体制造;集成电路用单晶材料制备
专利名称:一种用于单晶炉的后续加料结构
申请号:2023218845261
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体材料制备 晶体生长设备
相似专利
发布日:2025/09/22
应用场景:单晶硅生产过程中的连续加料;光伏产业链中的单晶制造环节
专利名称:一种半导体材料制备扩散炉
申请号:2024200299845
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体 半导体材料制备
相似专利
发布日:2024/12/09
摘要: 本实用新型公开了一种半导体材料制备扩散炉,涉及半导体生产领域。本实用新型包括炉体,炉体的内壁设置有螺旋状的电加热丝,炉体的底面贯穿有进气管,进气管的管壁位于炉体的内壁固定连接有多个喷头,炉体的内壁设置有截面呈L型的支撑筒,支撑筒的内壁固定连接有多个放置盘,支撑筒的内壁开设有若干间隔排列的通气孔,炉体内壁的上侧卡接有炉盖,炉体右面从上至下依次固定连接有呈L型的出气管、冷却筒、净化箱,冷却筒的内壁设置有包覆范围可变的冷却装置,净化箱的内壁设置有包覆范围可变的净化装置。本实用新型所产生的废气经过冷却和净化后再排出,避免对外部环境造成影响,保证人体的正常作业活动。
专利名称:一种单晶硅炉
申请号:2021111985416
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法律状态:已下证
类型:发明
关键词:半导体材料制备 半导体材料生产 晶体生长设备 单晶硅生产 石英坩埚 单晶硅棒加工 非金属元素
相似专利
发布日:2025/09/18
应用场景:直拉法单晶硅棒规模化生产;光伏产业上游原料供应;集成电路用高纯度硅晶体制造
专利名称:一种应力可控的应力硅及其制备方法
申请号:2021104944002
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法律状态:已下证
类型:发明
关键词:半导体材料制备 集成电路制造
相似专利
发布日:2025/10/15
应用场景:半导体器件制造中的应力控制;提高晶体管性能;集成电路制程优化