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专利名称:
一种半导体材料制备扩散炉
申请号:
2024200299845
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:实用新型 关键词:
半导体 半导体材料制备
相似专利
发布日:2024/12/09
摘要: 本实用新型公开了一种半导体材料制备扩散炉,涉及半导体生产领域。本实用新型包括炉体,炉体的内壁设置有螺旋状的电加热丝,炉体的底面贯穿有进气管,进气管的管壁位于炉体的内壁固定连接有多个喷头,炉体的内壁设置有截面呈L型的支撑筒,支撑筒的内壁固定连接有多个放置盘,支撑筒的内壁开设有若干间隔排列的通气孔,炉体内壁的上侧卡接有炉盖,炉体右面从上至下依次固定连接有呈L型的出气管、冷却筒、净化箱,冷却筒的内壁设置有包覆范围可变的冷却装置,净化箱的内壁设置有包覆范围可变的净化装置。本实用新型所产生的废气经过冷却和净化后再排出,避免对外部环境造成影响,保证人体的正常作业活动。
专利名称:
一种单晶硅炉
申请号:
2021111985416
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
半导体材料制备 半导体材料生产 晶体生长设备 单晶硅生产 石英坩埚 单晶硅棒加工 非金属元素
相似专利
发布日:2025/01/20
摘要: 本发明公布了一种单晶硅炉,包括炉本体和旋转提拉驱动组件,所述炉本体内设置有石英坩埚和加热器;所述旋转提拉驱动组件包括提拉气缸、导气盒、旋转部件以及提拉管,其中,所述导气盒配置在所述炉本体的外部,其内设置有导气腔,外壁设置有与所述导气腔连通的第一接头,所述第一接头用于连接配重源装置,所述提拉管为中空的长管结构,其一端与所述导气腔连通,另一端设置有闭合该中空长管开口的提拉头,所述提拉头伸入所述炉本体内;所述旋转部件用于驱动所述提拉管旋转,所述提拉气缸的输出端连接所述导气盒,用于驱动所述提拉头完成拉引工序;本发明提出一种单晶硅炉,克服了过去晶体在高晶转下生长易晃动的缺点,有效改善晶体的径向均匀性。
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