发明专利已授权

一种单晶炉循环水冷装置

📄 申请号：CN202411517277.1 📄 发布日：2025/12/18

著录项目信息

申请日

2024-10-29

公开号

CN119465369A

公开日

2025-02-18

申请人

无锡中斯盾科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C30B15_00

IPC 分类号

C30B15_00 , C30B29_06 , F27D9_00 ,

技术画像

所属领域

单晶炉循环水冷系统冷却装置单晶生长设备单晶炉

应用场景

单晶硅生长, 半导体制造, 光伏硅片生产, 晶体生长设备, 工业炉冷却

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摘要

本发明公开了一种单晶炉循环水冷装置，现提出如下方案，其包括操作台，包括安置柜，所述安置柜的底部设有底座，所述安置柜上安装有主体机构，所述安置柜和主体机构的内部都设有置料机构，所述主体机构上设有水冷机构；本发明通过设置水冷机构，通过相应的电机丝杆传动组件，方便驱动通风罩移动至合适部位，接着，朝液冷腔中通入水冷液，方便对装置产生的热量进行吸收发散，然后将进风头同鼓风机相接，方便将风通入通风罩内部的通槽和环槽，接着进入各个喷头再喷出，对加工过程中产生的热量进行辅助发散，从而令散热更加均匀，进而削弱了温度梯度和热应力，避免了晶体生长速率和生长方向受到较大影响，使得晶体生长更加均匀，保证了产品质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250829

✅ 授权

20250307

?? 实质审查的生效：

20250218

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：115 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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