一种制备高储能密度BaTiO3铁电薄膜的方法及其产品与应用

摘     要：本公开涉及薄膜材料制备技术领域，具体提供一种制备高储能密度BaTiO3铁电薄膜的方法及其产品与应用。制备高储能密度BaTiO3铁电薄膜的方法包括如下步骤：基体处理、在基体上沉积底电极、在底电极上沉积缓冲层、在缓冲层上沉积钛酸钡介电层、在钛酸钡介电层上沉积顶电极，其中，在基体上沉积底电极采用射频磁控溅射法完成，射频磁控溅射法的溅射气氛为纯Ar，气压控制在0.3Pa。解决现有技术中中低温下的原位制法制得的钛酸钡薄膜能性能较差，无法满足应用需求的问题。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

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