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摘 要:本发明涉及晶圆加工附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆加工用切面抛光装置,提高对晶圆的固定效果,从而提高对晶圆切面抛光的效果,提高实用性;并且一次固定即可完成晶切面的抛光,提高工作效率;同时降低安全隐患;包括工作台、左支板、右支板、顶板、气缸、安装板、伸缩杆、两组电机、两组转轴、第一抛光轮和第二抛光轮;还包括转盘、旋转支柱、固定装置和第一滚珠轴承,固定装置包括第一支板、第二支板、第三支板、支撑板、两组推杆、两组支撑弹簧、螺纹管、螺纹杆和第二滚珠轴承,第一支板前端的左侧和右侧均设置有固定槽,两组固定槽分别位于两组推杆的正后方,并且两组固定槽分别位于第一抛光轮和第二抛光轮的正下方。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201811060249.6 | 专利名称: | 一种晶圆加工用切面抛光装置 |
申请日: | 2018-09-12 | 申请/专利权人 | 江苏英锐半导体有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房 |
专利状态: | 授权未缴费 查询审查信息 | 关键词: | 半导体 相似专利 |
公开/公告日: | 2018-11-30 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108908075A | 交易状态: | 等待洽谈 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)与组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | 专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权未下证) | 专利证原件(若授权未下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |