发明专利已授权

单晶硅生长用组合式石英坩埚及其制备方法

Name: 单晶硅生长用组合式石英坩埚及其制备方法
Brand: 常州市永达五金工具厂
SKU: 2017104712583
Availability: InStock

📄 申请号：CN201710471258.3 📄 发布日：2024/08/13

著录项目信息

申请日

2017-06-20

公开号

CN109097824A

公开日

2018-12-28

申请人

常州市永达五金工具厂

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C30B15_10

IPC 分类号

C30B15_10 , C30B29_06 ,

技术画像

所属领域

单晶坩埚组合生长石英坩埚单晶

应用场景

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摘要

本发明涉及一种单晶硅生长用组合式石英坩埚及其制备方法。所述的组合式石英坩埚包括坩埚外埚体和坩埚内筒体，坩埚外埚体包括外筒部和埚底部，坩埚内筒体由碳纤维烧结筒和围绕碳纤维烧结筒设置的石英烧结材料构成。所述的石英烧结材料为覆盖在碳纤维烧结筒上的石英粉经烧结而成的一体件。所述碳纤维烧结筒是由碳纤维编织并烧结而成的上下贯通的筒状织物。使用时，坩埚内筒体置于坩埚外埚体的内部，且将坩埚外埚体分成晶体生长区和投料化料区内外两个区域。本发明结构简单，可分离杂质，能够实现投料、化料、晶体生长及分离杂质同步进行且高温持续工作时间长。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种网孔板涂抹设备及其涂抹工艺（分案）

当前第 / 件

一种新材料成分分析设备

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