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发明专利 已授权

基于Halbach永磁阵列的高线性磁悬浮隔振装置及作动器、方法

📄 申请号：CN201810179249.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日
2018-03-05
公开号
CN108386481B
公开日
2019-02-22
申请人
青岛理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
F16F15_03
IPC 分类号
F16F15_03

技术画像

所属领域

隔振装置 磁悬浮技术 振动控制 精密隔振 隔振装置

应用场景

半导体制造设备, 精密仪器隔振, 主动隔振, 振动控制, 高精度加工装备
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摘要

本发明公开了一种基于Halbach永磁阵列的高线性磁悬浮隔振装置及作动器、方法，所述磁悬浮作动器包括固定部和悬浮部，所述悬浮部包括磁体基座和位于磁体基座下方的第一Halbach永磁阵列体和第二Halbach永磁阵列体；所述固定部包括线圈基座和设置在线圈基座上的线圈体，所述线圈体位于第一Halbach永磁阵列体和第二Halbach永磁阵列体之间形成的磁场中，当固定部受扰动使线圈体运动切割磁感线，产生主动控制力，实现隔振。本发明有效解决当前磁悬浮隔振系统在地面重力场中承载力小和控制分辨率不足的问题，满足地面重力场环境中大承载力和高控制分辨率的要求；通过采用多个磁悬浮作动器分布布局，实现多自由度微振动隔振。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN108386481B

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

20190222
✅ 授权
20180904
?? 实质审查的生效 ：
20180810
📄 公开
一种具有三自由度隔振功能的磁悬浮作动器
当前第 / 件
基于Halbach永磁阵列的惯性激振器及其设计方法

同领域国内专利 · IPC: (F16F15_03)

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议价
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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态： 在售 👁️ 浏览次数：42 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报
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