发明专利已授权

一种微压探测压力传感器及其测量装置

Name: 一种微压探测压力传感器及其测量装置
Brand: 南京信息工程大学
SKU: 2020104600556
Availability: InStock

📄 申请号：CN202010460055.6 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2020-05-27

公开号

CN111620295B

公开日

2023-06-27

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B81B7_02

IPC 分类号

B81B7_02 , G01L1_22 , G01L9_04 ,

技术画像

所属领域

压力传感器压力传感器

应用场景

工业自动化, 环境监测, 医疗设备, 汽车电子, 暖通空调

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摘要

本发明公开了一种微压探测压力传感器，SOI硅片的衬底硅底部经过刻蚀形成应力薄膜并与玻璃基底键合形成真空腔，在应力薄膜下方刻蚀凹形槽结构和中心质量聚集结构，分别位于一对压力敏感硅铝异质结构的下方和薄膜中心区域。器件层掺杂后刻蚀出一对压力敏感硅铝异质结构，一对温度参考硅铝异质结构以及四个对称的L型凸起结构，温度参考结构的电阻处于应变薄膜区域外不受应力影响，配合本发明的传感器恒温控制系统可以有效地消除温度漂移特性。本发明还公开了一种微压探测传感器测量装置，包括其配套电路及校准标定方法，结合其传感器新型压阻元件及应力薄膜的结构设计，可以平衡高灵敏度及高线性度的测量特性，达到实际微压测量的应用标准。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN111620295B

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该专利的转让价格是多少？

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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