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摘 要:本发明涉及一种适用于激光隐形切割的划片道结构及其制备方法。其包括衬底、制备于所述衬底上的器件体以及设置于所述器件体外圈的划片道,还包括设置于划片道上的金属层支撑体,在器件体上沉积金属层时,通过金属层支撑体支撑位于划片道上的金属,并能在所述金属层支撑体上形成非连续的划片道金属层,通过金属层支撑体以及所述金属层支撑体上的划片道金属层形成能降低金属反射率的划片道低反射体。本发明在对器件体进行金属沉积时,能在划片道上形成划片道低反射体,划片道低反射体包括金属层支撑体以及非连续的划片道金属层,在避免金属层覆盖划片道时,也能降低对激光的反射,从而能有效确保对划片道采用激光隐形切割,与现有工艺兼容。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011422750.X | 专利名称: | 适用于激光隐形切割的划片道结构及其制备方法 |
申请日: | 2020-12-08 | 申请/专利权人 | 江苏创芯海微科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2座112 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B81B7/02搜分类 激光搜索 |
公开/公告日: | 2021-12-24 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112537753B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |