枚叶水平输送式的晶圆电镀装置

摘     要：本发明公开枚叶水平输送式的晶圆电镀装置，包括传动机构、第一冲洗室、蚀刻室、第二冲洗室、第三冲洗室、电镀室、第四冲洗室、第五冲洗室、吹风室和红外干燥室；传动机构包括入料传送开口和出料传送开口，入料传送开口和出料传送开口底部均固定设置有第一电机和传动装置，传动装置上部固定设置有支撑板，传动装置与支撑板中部水平设置的传动辊联动；第一冲洗室包括第一固定架，第二冲洗室包括第二固定架，第三冲洗室包括第三固定架。本发明通过设置传动机构、第一冲洗室、蚀刻室、第二冲洗室、第三冲洗室、电镀室、第四冲洗室、第五冲洗室、吹风室和红外干燥室，使得晶圆被传动辊单方向进行传动，有效降低电镀化学品的设备和维护成本。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注