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| 专利/申请号： | CN201811601470.8 | 专利名称： | 枚叶水平输送式的晶圆电镀装置 |
| 申请日： | 2018-12-26 | 申请/专利权人 | 安徽宏实自动化装备有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 安徽省合肥市包河区延安路2号宏实集团工业园区 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C25D19/00 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2019-03-29 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN109537035A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 47 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本发明公开枚叶水平输送式的晶圆电镀装置，包括传动机构、第一冲洗室、蚀刻室、第二冲洗室、第三冲洗室、电镀室、第四冲洗室、第五冲洗室、吹风室和红外干燥室；传动机构包括入料传送开口和出料传送开口，入料传送开口和出料传送开口底部均固定设置有第一电机和传动装置，传动装置上部固定设置有支撑板，传动装置与支撑板中部水平设置的传动辊联动；第一冲洗室包括第一固定架，第二冲洗室包括第二固定架，第三冲洗室包括第三固定架。本发明通过设置传动机构、第一冲洗室、蚀刻室、第二冲洗室、第三冲洗室、电镀室、第四冲洗室、第五冲洗室、吹风室和红外干燥室，使得晶圆被传动辊单方向进行传动，有效降低电镀化学品的设备和维护成本。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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| 2018116014708 | 【发明】枚叶水平输送式的晶圆电镀装置 | 2025/03/19 |
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