热处理设备及其热处理方法

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摘     要：一种热处理设备及其热处理方法，所述热处理设备包括热处理腔体、热处理灯、用于放置晶圆的晶圆基座，还包括：遮光板，设置于所述热处理腔体内；遮光板控制部件，与所述遮光板耦接，所述遮光板控制部件带动所述遮光板移动至预设隔离位置，以阻隔所述热处理灯对所述晶圆的热辐射，或者带动所述遮光板移动至离开所述预设隔离位置，以使所述晶圆接受所述热处理灯的热辐射，所述预设隔离位置位于所述热处理灯和晶圆基座之间。本发明方案可以更精确地对晶圆接受所述热处理灯的热辐射的辐射量进行控制，从而提高半导体器件的品质。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

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