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摘 要:本申请公开一种钛酸钡单晶外延薄膜阈值开关器件及其制备方法,属于物理化学合成和电子信息技术领域,所述制备方法包括如下步骤:(1)以NSTO为基片,将清洗好的NSTO基片放入脉冲激光沉积系统,以钛酸钡陶瓷为靶材,进行钛酸钡薄膜生长,生长完毕进行原位退火,在氧气氛保护下降温至室温,取出样品;(2)钛酸钡薄膜表面盖上掩膜版,蒸镀铬薄膜;(3)再在铬薄膜上热蒸镀金属Au薄膜;(4)在基底背面压金属铟丝或铟粒,作为下电极,即得到单晶外延钛酸钡薄膜阈值开关器件,所述器件的结构为Au/Cr/BTO/NSTO/In。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201911257017.4 | 专利名称: | 一种钛酸钡单晶外延薄膜阈值开关器件及其制备方法 |
申请日: | 2019-12-10 | 申请/专利权人 | 河南大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 河南省开封市明伦街85号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L43/12搜分类 塑料 开关器件 单晶搜索 |
公开/公告日: | 2021-03-19 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN110970554B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |