实用新型已授权

一种晶圆缺陷测试仪的光源调节装置

📄 申请号：CN202222245289.6 📄 发布日：2025/10/20

著录项目信息

申请日

2022-08-25

公开号

CN218494926U

公开日

2023-02-17

申请人

苏州凯硕机电设备工程有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F21V21_14

IPC 分类号

F21V21_14 , G01N21_88 ,

技术画像

所属领域

半导体检测设备半导体检测设备光学检测光源控制

应用场景

晶圆缺陷检测, 半导体制造, 芯片测试, 光学检测, 工业无损检测

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摘要

本实用新型公开了一种晶圆缺陷测试仪的光源调节装置，包括夹具、光源、第一滑板和第二滑板，第一滑板和第二滑板之间设置有第一调节机构，第一调节机构包括连接板、定位板、齿条、第一转轴、第二转轴、第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮和手轮；手轮连接在第一转轴伸出定位板的一端上，第一齿轮固定套接在第一转轴上；第二齿轮和第三齿轮固定连接，套接在第二转轴上；齿条的一侧面与安装口的内侧面抵接，另一侧面与第三齿轮啮合连接，齿条的端部水平伸出与第二滑板连接。在旋转手轮时，通过第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮和齿条的传动，驱动第二滑板移动，夹具连接在第二滑板上，从而改变连接在夹具中的光源的位置。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种圆管打磨抛光装置

当前第 / 件

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