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| 专利/申请号： | CN202321827644.9 | 专利名称： | 晶圆检测设备 |
| 申请日： | 2023-07-12 | 申请/专利权人 | 苏州中巨苏智能科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省苏州市高新区浒杨路88号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G01N29/32 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2024-04-19 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN220819923U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 半导体制造 自动化检测技术专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶圆表面缺陷检测;芯片制造质量控制;自动化生产线检测环节
摘 要：本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆检测设备，包括固定底座、支撑架、检测头和检测台，还包括除尘组件，除尘组件包括连接座、喷头、支撑座、吸尘罩、喷气构件、吸气构件和转动构件，连接座与固定底座固定连接，喷头与连接座固定连接，支撑座与固定底座固定连接，吸尘罩与支撑座固定连接，喷气构件设置在固定底座上，并与喷头连接，吸气构件设置在固定底座上，并与吸尘罩连接，转动构件设置在固定底座上，并与检测台连接，通过将检测台上晶圆上吹起的灰尘吸入到吸尘罩内进行收集，避免灰尘再次掉落到晶圆上，从而避免晶圆上堆积吸附的灰尘影响检测结果，进而提高装置检测时的准确性。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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