领域：电子设备和元器件  分类： H01J37/32

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领域：工程技术  分类： H01J37/32

领域：等离子体 离子源  分类： H01J37/32

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领域：光学仪器 仪器仪表 等离子体  分类： H01J37/32

领域： 离子源  分类： H01J37/32