本发明公开了一种便于调整维护更换的电子枪，包括定位板、电子枪主体和电线，所述定位板上开设有槽口，且槽口的内部安装有连接套，所述连接套的底端电性连接有电子枪主体，且连接套的顶面设置有电线，所述连接套的后表面开设有第一限位孔，且第一限位孔与限位轴相互连接，并且限位轴固定安装在连接块的前表面，所述连接块位于第一收纳槽的内部，且第一收纳槽设置在定位板的内部。该便于调整维护更换的电子枪，转盘在不进行操作的过程中，通过定位轴和第二限位孔的卡合连接进行固定工作，避免转盘发生转动，同时后续工作人员通过对推板的按压即可对转盘的定位进行解除工作，提高了工作人员进行操作时的便捷性。
📄 2019111526263
📂 H01J3_02
👤 盐城工学院
📅 2019-11-22
本发明公开一种基于多源共蒸技术的薄膜监测制备装置及方法。该装置的工件盘固定于真空室的顶部且可沿其中心旋转；离子源设置于真空室的底部，且离子源的中心与工件盘的中心位于同一直线上；蒸发源至少包括两个阻蒸源和一个电子枪蒸发源；蒸发源均设置于真空室的底部，且等间距设置于离子源的四周；蒸发源均配有挡板；制备薄膜时，光学膜厚监测系统实时监测工件盘上任一位置所加载的基片上薄膜的光学厚度，并反馈给控制中心；控制中心用于薄膜制备参数的输入以及薄膜制备过程的控制。该方法遵循阻蒸源制备高、中折射率级别膜层，电子枪蒸发源制备低折射率级别膜层的制备原则。通过本发明能够实现多成分多级别复合光学薄膜的制备与光学膜厚监测。
📄 2021106492480
📂 C23C14_54
👤 西华师范大学
📅 2021-06-10
本发明提供了一种钨铜合金的制备方法，将电子束熔炼炉抽真空，利用电子枪组件向铜原料发射电子束，使铜液化并蒸发，形成铜蒸气；利用电子枪组件向钨原料发射电子束，使钨液化并蒸发，形成钨蒸气；钨蒸气与铜蒸气混合，得到铜钨混合蒸气，经过快速冷却降温后，铜钨混合蒸气凝固成为铜钨合金。还提供了一种钨铜合金的制备设备，包括电子束熔炼炉，所述电子束熔炼炉的顶部设置有电子枪组件，底部设置有原料放置机构，侧壁设置有进料机构，所述进料机构的出料端与原料放置机构相连。电子束熔炼本身具有提纯、精炼的作用，因此本发明的铜原料和钨原料可以是低成本的回收料，成本比只使用粉末冶金降低15％以上。
📄 2021108855351
📂 C23C14_30
👤 攀枝花学院
📅 2021-08-03
本实用新型公开了一种稳定高效的电子束真空镀膜设备，包括镀膜室和卷绕室两部分，镀膜室内设有镀膜系统，卷绕室内设有卷绕系统和线膜厚检测仪，卷绕室与镀膜室分别单独连接有不同真空抽速的抽真空系统，且两者间采用隔板隔开并独立抽真空，两个抽真空系统的抽速分别由镀膜原料的材料以及通入的反应气体决定。本实用新型能够有效克服由于镀膜室的局部压强差过大引起材料蒸发不均匀导致成膜质量下降等问题，具有蒸发稳定、成膜质量高的特点，还能有效地改善由于卷绕室与镀膜室的压强差过大导致材料的有效利用率降低的问题，有效提高镀膜材料的利用率，并且能有效地解决镀膜室真空度变化过大引起的电子枪产生打火的现象，有效提高电子枪的稳定性。
📄 2022204316145
📂 C23C14_30
👤 浙江弘康半导体技术股份有限公司
📅 2022-03-01
本实用新型公开了一种有效提高薄膜密度的卷对卷电子束镀膜设备,包括位于上方的卷绕室、下方的镀膜室。镀膜室与卷绕室通过镀膜主辊旁边的缝隙相连，所述卷绕室内设有卷绕系统、在线膜厚测试仪、等离子预处理系统，所述卷绕室顶部连有抽真空系统，所述镀膜室内设有电子枪系统、等离子体辅助系统、等离子监测系统、晶振仪、蒸发坩埚、偏转磁场系统。本实用新型能够有效克服成膜粒子在基底上迁移能力差所引起的致密度差的问题，具有蒸发速度快，成膜质量高的特点，还能有效地解决由于电子束的高能量改变沉积薄膜的化学计量比导致的阻隔性能的变差的缺点，利用反应性气体将金属元素转化为化学计量比稳定的高阻隔氧化物层，有效提高薄膜密度。
📄 2022204113013
📂 C23C14_56
👤 浙江弘康半导体技术股份有限公司
📅 2022-02-28
本发明公开了一种可调张力的镀膜机，包括装载支架、顶接板、托载台和泵体，所述装载支架顶部中间处水平设置有顶接板，且所述装载支架两端均竖向设置有侧封板，两个侧封板之间水平嵌设有托载台。本发明的有益效果是：通过溅射机构上的电机五带动电子枪调节移动至靶材正上方，保证电子枪能够快速移动至靶材上方进行轰击工作，并且电子枪对靶材照射轰击时，电机七通过旋摆板带动电子枪左右往复翻转工作，一方面，保证靶材被电子枪轰击处理更完全，再配合电机五在挂台上带动电子枪左右调节活动，保证电子枪对靶材轰击面积覆盖更完全，另一方面，极大的提高了靶材表面组分被轰击逸出的效率以及基板被镀膜的效率。
📄 2019111843422
📂 C23C14_34
👤 安徽顺彤包装材料有限公司
📅 2019-11-27
已申报项目
本实用新型公开了一种气溶胶单颗粒囚禁装置，包括真空室，以及位于真空室内的导管、电子枪、水平带电极板、带电圆筒、竖直带电极板；带电圆筒为两个，共轴线放置；水平带电极板为两个，上下平行放置于两个带电圆筒内；竖直带电极板为两个，竖直于水平带电极板分别置于两个带电圆筒内，且近导管一端的竖直带电极板上设有供气溶胶颗粒通过的小孔；电子枪设于导管与水平带电极板之间。本实用新型利用气溶胶颗粒囚禁装置，能够有效将单粒气溶胶颗粒囚禁在真空室中的固定位置，从而被LIBS激光准确照射，探测其成分。该装置与LIBS探测装置结合，构成一套完善的系统，使得LIBS技术在探测大气中固体气溶胶颗粒的实验可以顺利进行。本实用新型还提供了一种光谱探测系统。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
📄 2021208079568
📂 G01N21_71
👤 苏州西怡新材料有限公司
📅 2021-04-20
本发明公开了一种微针尖环形阵列阴极电子枪及其阴极的制备方法，属于真空电子器件技术领域，其中，电子枪包括阴极、栅极、双聚焦电极、阳极；具体而言，阴极为环形阵列结构，由圆锥沿对称轴一分为二，切面为底面，尖端朝内，在阴极凹槽内均匀分布，呈凹面形状，具有预聚焦效果；阴极的微针尖设计，显著增大场增强因子，进而提高尖端的电场强度、提升发射电流密度且降低开启电压；栅极为菱形栅孔栅网，菱形边长与阴极凹槽半径一致，通过调节菱形锐角优化电场分布，显著提高场发射效率；第一聚焦电极为双曲聚焦电极，其内壁形状为双曲线，通过引导电场线沿中心轴线向阳极弯曲，增强聚焦效果；本设计的电子枪兼具高场发射性能与高束流压缩比。
📄 2025101343384
📂 H01J29_48
👤 南京信息工程大学
📅 2025-02-07
本发明是探测电子、离子和中性自由基的三极速度成像仪，其特征在于：包括主腔体、中性自由基碎片速度成像飞行管、离子速度成像飞行管、电子速度成像飞行管、激光发生器和光路通道；其中，主腔体内设置有环形电子枪进样装置，中性自由基碎片速度成像飞行管、离子速度成像飞行管、电子速度成像飞行管内均设置有电子透镜和成像装置。该装置可以将光与物质作用后产生的离子、电子和中性自由基碎片粒子实现分离，并采集到离子、电子和中性自由基碎片粒子的速度分布，为研究其光动力学提供完整的数据。
📄 201811056409X
📂 H01J49_40
👤 南京信息工程大学
📅 2018-09-11
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