发明专利已授权

一种微针尖环形阵列阴极电子枪及其阴极的制备方法

📄 申请号：CN202510134338.4 📄 发布日：2026/08/18

著录项目信息

申请日

2025-02-07

公开号

CN119581296B

公开日

2025-04-15

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01J29_48

IPC 分类号

H01J29_48 , H01J1_304 , H01J1_46 , H01J9_02 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

真空电子器件, 太赫兹辐射源, 电子束加工, 电子显微成像

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摘要

本发明公开了一种微针尖环形阵列阴极电子枪及其阴极的制备方法，属于真空电子器件技术领域，其中，电子枪包括阴极、栅极、双聚焦电极、阳极；具体而言，阴极为环形阵列结构，由圆锥沿对称轴一分为二，切面为底面，尖端朝内，在阴极凹槽内均匀分布，呈凹面形状，具有预聚焦效果；阴极的微针尖设计，显著增大场增强因子，进而提高尖端的电场强度、提升发射电流密度且降低开启电压；栅极为菱形栅孔栅网，菱形边长与阴极凹槽半径一致，通过调节菱形锐角优化电场分布，显著提高场发射效率；第一聚焦电极为双曲聚焦电极，其内壁形状为双曲线，通过引导电场线沿中心轴线向阳极弯曲，增强聚焦效果；本设计的电子枪兼具高场发射性能与高束流压缩比。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250415

✅ 授权

20250325

?? 实质审查的生效：

20250307

📄 公开

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